在生产多晶硅的历程中，通� ；岜⒋笞诘姆掀筒幸�。废气中主要含有大宗的HCl、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、H2、N2等气体，而残液中主要含有氯化烷和微量硅粉。由于氯硅烷极易容易水解，通常接纳稀的氢氧化钠溶液淋洗氯硅烷残液和氯硅烷气体，尚有少量的氯化氢，使氯硅烷和氯化氢所有水解中和，天生氯化钠和硅胶的混淆物。
硅胶在经由搅拌机搅拌后通过渣浆泵被送去压滤机举行固液疏散操作，滤渣运送到渣场统一堆放。疏散出的硅胶经刮板机刮出后送入污泥网络池，之后再用潜水式污泥泵将沉底的硅胶打入到搅拌池内，经搅拌后被送入到压滤机再举行固液的疏散。
去除掉硅胶的工业废水是盐类废水，这些废水一样平常呈酸性，酸碱度值约莫为2。废水经由酸碱中和，之后经蒸发，结晶，过滤把盐类提取出来。经由处置惩罚后的水会返回到生产中循环使用。现在海内的许多企业并没有思量到将盐接纳，而将其集中堆放。
蒸发历程是指对含有不挥发溶剂的溶液举行加热，使水分蒸发出来，剩下的溶剂浓度会一直增添。在此蒸发历程中会用到蒸发器。在蒸发历程中会爆发大宗的二次蒸汽，将二次蒸汽一直移出使溶液和蒸汽处于动态平衡，在这种平衡态下蒸发历程无法举行。若是将二次蒸汽直接冷凝移出，这种操作称为单效蒸发。若将二次蒸汽直接引去第二级的蒸发器入口处，使二次蒸汽作为第二级蒸发器的加热源，这种将二次蒸汽潜热有用使用的要领称之为多效蒸发。
蒸发历程有如下几个特点：
（1）传热性子
传热壁面的两侧都爆发相变历程，一侧为溶液欢喜，另一侧为蒸汽冷凝，这种蒸发历程属于恒温传热历程。
（2）溶液沸点的改变
一样平常情形下含有不蒸发溶质的溶液，其饱和蒸汽压较量高温度下纯水的饱和蒸汽压要低。也就是说，在相同的压力下，纯水的沸点要比溶液的沸点低。因此，当加热蒸汽的量相同时，蒸发纯水的温差要比蒸发溶液的大。通常溶质组成含量越高，这种征象越显着。
（3）溶液性子
溶液的粘度随着蒸发历程的举行会越来越大，同时侵蚀性溶质的侵蚀性能也越来越大。在蒸发历程中析出晶体，在高温下容易聚合或者剖析。有时会随着历程的举行天生泡沫或者会结垢。
（4）泡沫夹带
由于夹带液沫容易损失物料和污染冷凝装备。因此在二次蒸汽冷凝时必需将其夹带的液沫除掉。
（5）能源使用在蒸发历程中通� ；岜⒍握羝�，其潜热重大，需要有用施展其使用价值。
现在海内在多晶硅生产历程中一样平常可接纳薄膜蒸发器，三效蒸发器和四效蒸发器等装备用于处置惩罚盐类废水。它们都是使用蒸发浓缩的原理将废水中的水蒸发出去，NaCl冷凝聚晶出来以实现废水的有用疏散。
2.1 薄膜蒸发器事情原理
薄膜蒸发器是一种现代化的高效蒸发器，需要真空操作，通过旋转的刮膜器强制成膜，并在高流速下举行流动。这种要领停留时间短，传热效率高。在此历程中，一连进料在加热面被刮膜器一连一直的刮成厚度匀称的液膜，随之液膜向下移动，在向下游动的历程中残留物从底部被倾轧，而低沸点的组分就会被蒸发出，进入大气中。
2.2 三效蒸发器的事情原理
三效蒸发器接纳串联的方法。第一个蒸发器爆发的二次蒸汽为使用其蒸发潜热，将热量引入到第二个蒸发器的入口处。第一个蒸发器的二次蒸汽冷凝处即为第二个蒸发器的入口加热处。只要控制好各蒸发器的压力分派，即可实现这种操作。通入加热蒸汽的第一个蒸发器为一效，二次蒸汽通入的第一个蒸发器为二效，依次下一次二次蒸汽通入的蒸发器为三效。
2.3 四效蒸发器事情原理
四效蒸发器是指将四个蒸发器串联，每一级蒸发器爆发的二次蒸汽依次进入下一级蒸发器中作为加热蒸汽的历程。在四效蒸发器举行蒸发时，物料在蒸发器顶部经太过配盘被匀称漫衍在各蒸发管内。物料在重力的作用下经蒸发管由上至下游出，在管内壁形成薄膜，内壁的薄膜与外侧的加热蒸汽举行热交流，薄膜液体举行蒸发。由于二次蒸汽的流向在各蒸发器中偏向坚持一致，很容易使料液沿着蒸发管内壁漫衍成薄膜状态，提高了传热效率。
3、结语
多效蒸发器提高了蒸发效率，即二次蒸汽的使用率。从上文剖析来看，蒸发相同水量接纳多效蒸发器更为节能，需要消耗的蒸汽和循环水量更少。以是在工业生产中，一样平常多接纳多效蒸发器如四效蒸发器，其蒸发效率更高，应用更为普遍。
